エリプソメータ
カテゴリ：成膜?蒸着?膜厚测定
| 机器メーカー | J.A.Woollam |
|---|---|
| 製品名 | M-2000DI-YK |
| 设置年 | 2013 |
| キャンパス | 常盘キャンパス |
| 设置场所 | 常盘分室先端研究栋206 |
| 管理部局 |
电话：0836-85-9951 管理者にメール |
仕様
薄膜やバルク材料の试料表面からの反射光の偏光状态の変化を测定して、薄膜の膜厚、光学定数（苍：屈折率、办：消衰係数）を求めることができます。
波长范囲：195苍尘～1685苍尘
角度范囲：45度～90度
试料サイズ：10尘尘φ～200尘尘φ
利用形态
学内, 学外, 自己測定, 依頼測定,
利用料金
?学内： 500円/時間， 2,500円/日
?アカデミック（学外）：500円/時間， 2,500円/日
?学外一般：1,000円/時間， 5,000円/日
※アドバイザーによる机器の利用代行や操作补助が発生する场合，学内?アカデミック机関は1回3,000円，学外の公司等は6,000円を加算
（2025.6.1现在）
初回ご利用希望?その他お问い合わせはメールでご連絡ください。
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详细?予约ページ（大学连携研究设备ネットワークへ）
依頼測定：お问い合わせください。